用于摆放DUT 的block size 是否固定

block size并非固定，受限于module sizey、pad pitch 以及 metal 可测层，当module size 以及padpitch 异常小时，SMTX IP 可以根据实际需要通

老沈1 Block Size

PatternScan支持模糊匹配吗

1. 进入PatternScan界面，选择对应的pattern，即可看到当前library里面具体情况； 2. 用可以使用single edge和edge to edge等功能，对图形的边进行模糊范

神奇小汤圆 版图匹配

CMP建模数据收集为什么优先选择Middle Die的数据？

1. Middle Die通常能够代表晶圆上最稳定的工艺状态，受到边缘效应和设备非均匀性的影响较小。CMP建模的目标是建立版图特征与材料去除行为之间的关系，因此需要尽量减少设备和位置因素带来的干扰。

前端梦工厂 数据采集策略

为什么校准使用RMSE作为模型校准精度的评价指标，而不是MSE或者其他误差函数？

MSE（Mean Squared Error）定义为：误差平方后的平均值。其单位变为：nm²或者Ų RMSE (Root Mean Square Error）定义为：均方根误差，单位是nm或者Å

pieces 模型评价指标

用户如何利用layoutinsight分析良率问题

1. layoutinsight通常会以gate出发，去准确地抽取一系列器件基础信息和LDE效应参数； 2. 可通过对每个device的综合分析得到一些对良率有可能有影响的位置和图形

Proofbylntuition 版图参数分析

为什么要对每一层单独建模，每层的良率该怎么对应到整个版图的良率？

1. 每层的几何特征不同，基于open/short模型得到的关键面积也各不相同，如果不分层计算可能导致结果严重失真。 2. 我们假设不同层的缺陷是独立事件，每层的良率相乘即可得到整体良率 3. 但

石小石Orz 关键面积分析

rule有五种测量方式，分别表示什么，怎么水平垂直量测

Ruler：表示常规测量模式，选择任意两点进行测距 Polygon Edge Ruler: 表示需要选择polygon边才能测距 Auto Distance Ruler: 自动测距模式，选择两点会

老沈1 测量方式

目前支持几种量测命令

目前支持至少9种量测相关命令，量取宽度，量取距离，量取包围距离，量取周长，统计polygon数量，统计排序，统计链路编号，统计pin的连接性情况，获得polygon左下角坐标信息；用户可以灵活地通过命

囿人化雨 参数抽取

如何获取版图的cell，polygon信息，或者获取polygon的尺寸信息及其他统计信息

1.View->Find Object可以搜索指定元素的基本信息 2.Query->Summarize Cell Info 可以获取指定cell的统计信息 3.Query->Geometry St

名贵的考拉熊 版图信息统计

基于软件计算的预测良率和产线的实际良率对不上，问题可能出在哪里？

可能问题有以下几个：a. D₀ 不准，b. 缺陷分布函数不准，c.基于关键面积的良率计算仅考虑 random defect，其他Systematic defect不在考虑范围内

董克平日记 随机缺陷建模

CMP建模数据越多越好吗，一般设计多少个合适？

1. CMP建模更关注数据的代表性，而不仅仅是数据量。大量来自相似Pattern的数据可能无法提升模型能力，反而会导致某些结构被过度强调。 2. 理想的数据集应覆盖不同Density、线宽、间距以及

石小石Orz 数据覆盖规划

什么是参数化，为什么要将参数分为三大类进行分别定义？

1.参数化是一种在版图绘制过程中引入参数定义与调用的设计方法。在传统版图设计的基础上将参数赋值到图形的属性中，使图形几何尺寸与参数形成动态关联 2.为便于用户对参数的灵活运用和管理参数，基于Pcel

老沈1 参数化

目前ATC 支持的IP 类型有哪些，不同IP 的应用场景是怎样的？

1. 目前ATC 支持的IP 类型有yield array,transistor array,AC、RO、Cap measurement 2. YPSC. 测量电阻/漏电，open/shrot 监测

前端梦工厂 IP类型

软件是运行脚本，如何编写这个脚本，脚本构成是怎么样的？

1. 脚本通常由七个部分组成，Layout information、Layer Map、Layer Operation、Contact Rule、Locating Command、Measuremen

内环境稳定 脚本编写

为什么模型校准后还需要进行产品验证？

1. 测试结构主要用于建立模型与工艺之间的关系，但产品环境通常比测试结构复杂得多。 2. 产品验证能够检查模型在真实设计环境中的表现。只有当模型同时通过测试结构验证和产品验证后，才能更加可靠地支持设

茶点故事 模型验证