为什么要对每一层单独建模,每层的良率该怎么对应到整个版图的良率?

石小石Orz 2024-02-09 浏览:342
1. 每层的几何特征不同,基于open/short模型得到的关键面积也各不相同,如果不分层计算可能导致结果严重失真。 2. 我们假设不同层的缺陷是独立事件,每层的良率相乘即可得到整体良率 3. 但在某些复杂场景下层与层间存在相关性,可能需要引入层相关性修正
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