目前ATC 支持的IP 类型有哪些,不同IP 的应用场景是怎样的?
前端梦工厂
2024-05-10
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1. 目前ATC 支持的IP 类型有yield array,transistor array,AC、RO、Cap measurement
2. YPSC. 测量电阻/漏电,open/shrot 监测,适用于划片槽
YPLO. 测量电阻/漏电,open/shrot/defectivity 监测, 适用于大尺寸DUT, 适用于MPW
ADYS. 高密度电阻/漏电方案;适用于e-overlay测量,window check
TRSC. 测量 transistor 电学特性,Idsat, Idlin, Vtsat, Vtlin, loff, etc.
RODQ.高密度ring oscillator方案,准确测量Freq, IDDA,IDDQ,用于S2S验证
QVCM. 测量晶体管可变二极管等前段电容C-V曲线
CBCM. 测量后段电容,包括MOM&MIM电容
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