CMP建模数据收集为什么优先选择Middle Die的数据?

前端梦工厂 2024-02-05 浏览:391
1. Middle Die通常能够代表晶圆上最稳定的工艺状态,受到边缘效应和设备非均匀性的影响较小。CMP建模的目标是建立版图特征与材料去除行为之间的关系,因此需要尽量减少设备和位置因素带来的干扰。 2. 使用Middle Die数据有助于提高模型对Pattern效应的识别能力,避免将晶圆边缘引起的系统误差引入模型,这也是业界的通用处理方式。
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