基于软件计算的预测良率和产线的实际良率对不上,问题可能出在哪里?

董克平日记 2024-04-22 浏览:283
可能问题有以下几个:a. D₀ 不准,b. 缺陷分布函数不准,c.基于关键面积的良率计算仅考虑 random defect,其他Systematic defect不在考虑范围内
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