CMP Testchip设计的原则是什么?

神奇小汤圆 2024-04-23 浏览:152
1. 需尽可能的cover Design Rule规定的图形尺寸,以及合理规律的DOE设计,均匀覆盖全部的设计规则,确保后续模型的泛化性。 2. 覆盖产品中可能出现的主要Pattern类型,包含不同Density、width,Space 以及典型功能模块特征,以充分表征CMP对各种版图环境的响应。 3. 保证结构具有可量测性和可重复性,便于后续模型校准与验证。
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