什么是关键面积，为什么不能直接使用某个尺寸的关键面积去计算良率，积分的关键面积和固定尺寸的关键面积有什么区别？

老沈1 2023-11-30 浏览：152

1. 关键面积的定义：关键面积AC(r) 是指版图上所有满足“如果一个半径 ≥ r 的缺陷落进来，就会导致失效”的几何区域之和。 2. 不能用单一尺寸关键面积计算良率的原因：制造过程中产生的缺陷并非单一尺寸，而是服从一个分布 f(r) 。 3. 正确做法：将缺陷尺寸分布 f(r) 与关键面积 AC(r) 相乘，并在最小缺陷尺寸到最大缺陷尺寸的区间内进行积分。 4. 积分关键面积的意义：相当于综合考虑了所有尺寸缺陷对版图的影响，最终将关键面积转化为一个与缺陷半径无关的数值。